|
|
Analýza obrazu pro korekci elektronových mikroskopů
Smital, Petr ; Schwarz, Daniel (oponent) ; Kolář, Radim (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá fyzikální podstatou korekcí elektronového mikroskopu a matematickými metodami zpracování obrazu potřebnými pro jejich kompletní automatizaci. Jedná se o různé typy ostření, korekci astigmatismu, centrování elektronového svazku či stabilizaci obrazu. Mezi popsané matematické metody patří různé metody zjištění ostrosti a astigmatismu, jak s použitím Fourierovy transformace, tak bez ní, dále metody detekce hran, operace s histogramem a lícování snímků, tedy zjišťování prostorových transformací v obraze, včetně zmínky o optimalizačních metodách. Tato práce obsahuje podrobný popis matematických metod, jejich zhodnocení na základě testovací „offline“ aplikace, popis algoritmů jejich implementace do reálného elektronového mikroskopu a výsledek testu na reálném mikroskopu v podobě videozáznamu z obrazovky ovládacího počítače.
|
|
|
Tolerances and Misalignment Aberrations for Electron Optical Elements and Systems
Sháněl, Ondřej ; Radlička, Tomáš (oponent) ; Tiemeijer,, Peter Christiaan (oponent) ; Zlámal, Jakub (vedoucí práce)
Inaccuracies in the production and assembling of rotationally symmetric lenses and deflectors and their accurate positioning in the electron optical system can be treated as an additional field with specific type of symmetry. The additional fields can be evaluated with the help of the finite element method in the program EOD. Tolerance analysis allows evaluation of the requirements on the dimensions and position of individual elements and their parts. Elimination of misalignment aberrations consists in determining the type and position of correcting deflection coils and multipoles so that these additional aberrations are removed or their effect is minimized. The aim of the dissertation is the analysis of the effect of misalignment aberrations and behavior of misaligned systems of transmission electron microscopes.
|
|
|
Elektrostatické vychylovací a korekční systémy
Badin, Viktor ; Oral, Martin (oponent) ; Zlámal, Jakub (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, astigmatismu a zkreslení. Aberace byly spočteny jak pro současný magnetický vychyolvací systém, tak pro nově navržený elektrostatický deflektor. Vlastnosti a vady obou vychylovacích a korekčních systémů byly porovnány.
|
|
|
Tolerances and Misalignment Aberrations for Electron Optical Elements and Systems
Sháněl, Ondřej ; Radlička, Tomáš (oponent) ; Tiemeijer,, Peter Christiaan (oponent) ; Zlámal, Jakub (vedoucí práce)
Inaccuracies in the production and assembling of rotationally symmetric lenses and deflectors and their accurate positioning in the electron optical system can be treated as an additional field with specific type of symmetry. The additional fields can be evaluated with the help of the finite element method in the program EOD. Tolerance analysis allows evaluation of the requirements on the dimensions and position of individual elements and their parts. Elimination of misalignment aberrations consists in determining the type and position of correcting deflection coils and multipoles so that these additional aberrations are removed or their effect is minimized. The aim of the dissertation is the analysis of the effect of misalignment aberrations and behavior of misaligned systems of transmission electron microscopes.
|
|
|
Elektrostatické vychylovací a korekční systémy
Badin, Viktor ; Oral, Martin (oponent) ; Zlámal, Jakub (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, astigmatismu a zkreslení. Aberace byly spočteny jak pro současný magnetický vychyolvací systém, tak pro nově navržený elektrostatický deflektor. Vlastnosti a vady obou vychylovacích a korekčních systémů byly porovnány.
|
|
|
Analýza obrazu pro korekci elektronových mikroskopů
Smital, Petr ; Schwarz, Daniel (oponent) ; Kolář, Radim (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá fyzikální podstatou korekcí elektronového mikroskopu a matematickými metodami zpracování obrazu potřebnými pro jejich kompletní automatizaci. Jedná se o různé typy ostření, korekci astigmatismu, centrování elektronového svazku či stabilizaci obrazu. Mezi popsané matematické metody patří různé metody zjištění ostrosti a astigmatismu, jak s použitím Fourierovy transformace, tak bez ní, dále metody detekce hran, operace s histogramem a lícování snímků, tedy zjišťování prostorových transformací v obraze, včetně zmínky o optimalizačních metodách. Tato práce obsahuje podrobný popis matematických metod, jejich zhodnocení na základě testovací „offline“ aplikace, popis algoritmů jejich implementace do reálného elektronového mikroskopu a výsledek testu na reálném mikroskopu v podobě videozáznamu z obrazovky ovládacího počítače.
|
host ::
RSS.